Akademik
Фокусированная ионная резка
Статьи
микроморфология
фокусированный ионный пучок
(Источник: «
Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО
»)
Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано
.
2010
.