Слово, придуманное в начале XVII в. бельгийским химиком ван Гельмонтом, который образовал его по аналогии с греческим словом chaos – "хаос"; в русский язык попало позднее, вероятно, в Петровскую эпоху, из немецкого или французского языка.
Этимологический словарь русского языка. — СПб.: ООО "Виктория плюс". Крылов Г. А.. 2004.