1) электр. установка проекционной литографии с непосредственным переносом изображений на полупроводниковую пластину
2) микроэл. мультипликатор, установка проекционной литографии с непосредственным переносом изображений на (кремниевую) пластину, установка совмещения и мультипликации
Универсальный немецко-русский словарь. Академик.ру. 2011.