Akademik

evaporation source

1) Электроника: испаритель, источник-испаритель (в установке ведения примесей методом испарения)

2) Макаров: источник-испаритель (в установке введения примесей методом испарения)

Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.