1) Техника: изоляция диоксидом кремния и поликристаллическим кремнием
2) Макаров: изоляция диоксидом кремния и поликремнием, изоляция диоксидом кремния и полукристаллическим кремнием
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.