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ESCA [Abk. für engl. electron spectroscopy for chemical analysis (oder application) = Elektronen-Spektroskopie zur chem. Analyse (oder Anwendung)]; Syn.: Röntgen-Photoelektronen-Spektroskopie (XPS, XPES), induzierte Elektronenemission (IEE): ein haupts. auf Festkörperoberflächen angewandtes Verfahren der ↑ Photoelektronen-Spektroskopie zum Nachweis chemischer Elemente u. ihrer Bindungsverhältnisse. Auf Oberflächenatome auftreffende weiche Röntgenstrahlung veranlasst die Atome zur Emission von ↑ Photoelektronen, deren kinetische Energie Rückschlüsse auf Zus. u. Bindungsart der Probe zulässt.