MỊS-Technik
[Abkürzung von englisch metal insulator semiconductor, »Metall-Isolator-Halbleiter«], Bezeichnung für die Gesamtheit aller Verfahren zur Herstellung diskreter Halbleiterbauelemente und integrierter Schaltungen, bei denen MIS-Übergänge zur Herstellung verschiedener Funktionselemente, besonders von MISFET (Feldeffekttransistor), aber auch von Kondensatoren, Varaktoren, Speicherelementen und Widerständen verwendet werden. Die Bezeichnung MIS-T. wird im weiteren Sinn häufig synonym mit MOS-Technik verwendet, im engeren Sinn, wenn der Gateisolator nicht aus SiO2 oder dem natürlichen Oxid des Halbleitersubstrats besteht. In letzterem Sinn ist das größte Einsatzgebiet der MIS-T. die Herstellung programmierbarer und nichtflüchtiger Speicher (z. B. MASFET, MNOSFET).
Universal-Lexikon. 2012.