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Auger-Elektronenspektroskopie

 

[o'ʒe-; nach P. V. Auger], Abkürzung AES, Auger-Spektroskopie, eine den Auger-Effekt nutzende, sehr leistungsfähige Methode zur chemisch-analytischen Untersuchung von Festkörperoberflächen, bei dem die Energie der durch Elektronen- oder auch Röntgenstrahlen ausgelösten Auger-Elektronen gemessen wird. Es lassen sich besonders Oberflächenverunreinigungen, Adsorptionsschichten, Adsorptions- und Diffusionsvorgänge sowie chemische Festkörperreaktionen in der Oberfläche (Katalyse, Oxidation, Korrosion) qualitativ und quantitativ bestimmen: Aus der Lage der Maxima im Energiespektrum der durch Elektronenbeschuss aus der Oberfläche herausfliegenden Auger-Elektronen erhält man Informationen über die dort vorhandenen Atomarten, da ihre Energie im wesentlichen den für die Atomarten charakteristischen Elektronenübergängen entspricht und Einflüsse der chemischen Bindung nur zu geringfügigen Energieverschiebungen führen. Eine Messung der Anzahl der zugehörigen Auger-Elektronen liefert die jeweiligen Atomkonzentrationen. Das zur Messung verwendete Auger-Spektrometer besteht im Wesentlichen aus einem Elektronenstrahlgenerator, einem im Ultrahochvakuum (Druck 10^-10 bar) befindlicher Probenhalter, einem Analysator für die Elektronenenergie und entsprechenden Regeleinheiten für die synchrone Steuerung von Anregung und Absorption der Auger-Elektronen. Meist wird die Auger-Elektronenspektroskopie mit der LEED-Technik und der RHEED-Technik kombiniert, wobei alle benötigten Vorrichtungen im gleichen Vakuumsystem untergebracht werden.